Zeitschriftenartikel

Grid-unterstützte E-Beam-Belichtungssimulation

Dokumententyp

Text/Journal Article

Dateien

40731_2014_Article_BF03342006.pdf (150.62 KB)

Datum

2011

Autor:innen

Quelle

PARS: Parallel-Algorithmen, -Rechnerstrukturen und -Systemsoftware: Vol. 28, No. 1

Verlag

Gesellschaft für Informatik e.V.

Zusammenfassung

Dr. C. Dürr, A. Singer, M. Sülzle EQUIcon Software GmbH Jena

Dürr, C.; Singer, A.; Sülzle, M. (2011): Grid-unterstützte E-Beam-Belichtungssimulation. PARS: Parallel-Algorithmen, -Rechnerstrukturen und -Systemsoftware: Vol. 28, No. 1. DOI: 10.1007/BF03342006. Gesellschaft für Informatik e.V.. PISSN: 0177-0454. pp. 220-223

DOI

10.1007/BF03342006

Sammlungen

PARS-Mitteilungen 2011

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