Dürr, C.Singer, A.Sülzle, M.2017-12-062017-12-062011https://dl.gi.de/handle/20.500.12116/8576Dr. C. Dürr, A. Singer, M. Sülzle EQUIcon Software GmbH JenadeGrid-unterstützte E-Beam-BelichtungssimulationText/Journal Article10.1007/BF033420060177-0454