Grid-unterstützte E-Beam-Belichtungssimulation

Dürr, C.; Singer, A.; Sülzle, M.

Author:

Dürr, C. [DBLP] ;

Singer, A. [DBLP] ;

Sülzle, M. [DBLP]

Abstract

Dr. C. Dürr, A. Singer, M. Sülzle EQUIcon Software GmbH Jena

Citation
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Dürr, C., Singer, A. & Sülzle, M., (2011). Grid-unterstützte E-Beam-Belichtungssimulation. PARS: Parallel-Algorithmen, -Rechnerstrukturen und -Systemsoftware: Vol. 28, No. 1. Gesellschaft für Informatik e.V.. (S. 220-223). DOI: 10.1007/BF03342006

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