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Grid-unterstützte E-Beam-Belichtungssimulation

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dc.contributor.authorDürr, C.
dc.contributor.authorSinger, A.
dc.contributor.authorSülzle, M.
dc.date.accessioned2017-12-06T09:06:18Z
dc.date.available2017-12-06T09:06:18Z
dc.date.issued2011
dc.description.abstractDr. C. Dürr, A. Singer, M. Sülzle EQUIcon Software GmbH Jenade
dc.identifier.doi10.1007/BF03342006
dc.identifier.pissn0177-0454
dc.identifier.urihttps://dl.gi.de/handle/20.500.12116/8576
dc.language.isode
dc.publisherGesellschaft für Informatik e.V.
dc.relation.ispartofPARS: Parallel-Algorithmen, -Rechnerstrukturen und -Systemsoftware: Vol. 28, No. 1
dc.relation.ispartofseriesPARS: Parallel-Algorithmen, -Rechnerstrukturen und -Systemsoftware
dc.titleGrid-unterstützte E-Beam-Belichtungssimulationde
dc.typeText/Journal Article
gi.citation.endPage223
gi.citation.startPage220

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