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Zeitschriftenartikel

Grid-unterstützte E-Beam-Belichtungssimulation

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Text/Journal Article

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Datum

2011

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Bandtitel

Verlag

Gesellschaft für Informatik e.V.

Zusammenfassung

Dr. C. Dürr, A. Singer, M. Sülzle EQUIcon Software GmbH Jena

Beschreibung

Dürr, C.; Singer, A.; Sülzle, M. (2011): Grid-unterstützte E-Beam-Belichtungssimulation. PARS: Parallel-Algorithmen, -Rechnerstrukturen und -Systemsoftware: Vol. 28, No. 1. DOI: 10.1007/BF03342006. Gesellschaft für Informatik e.V.. PISSN: 0177-0454. pp. 220-223

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